主要用作雕花玻璃刻蚀剂、防腐剂、消毒剂、氧化铍制金属铍的溶剂、分析试剂和硅素钢板的表面处理剂，还用于制造陶瓷和铝镁合金的氧化剂及锅炉给水系统蒸汽发生统的清洗剂、有机合成氟化剂、电镀液、提取稀有元素的试剂。